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          發布時間:2018-09-09 10:25:06 來源︰admin
          爪式真空泵是一種在半導體行業應用非常廣泛的真空泵。第一台爪式真空泵誕生于日本,隨著日本半導體行業的蓬勃發張,爪式真空泵的應用量迅速增大。它除了有干式真空泵腔內無油的共同特點外,還有自己的獨特優點。
           
          (1)轉子與轉子之間,轉子與腔體之間存在間隙,沒有摩擦。
           
          (2)可以直排大氣,能夠在高壓下長期穩定工作。
           
          (3)能夠抽除腐蝕性、劇毒性、放射性和易燃性氣體。
           
          (4)壓縮比大,可以達到10∼105。(5)對粉塵的耐受性較強。
           
          爪型干式真空泵可以做成單級,也可以做成多級。很多公司都采用爪型轉子與羅茨轉子組合的方式。一般爪泵做前級。它利用了在低壓下羅茨泵的抽氣效率較高,高壓下爪型轉子抽氣效率較高的特點,將這兩種泵各自的優勢匹配起來,組成干式真空泵。這樣的干式真空泵適用于真空度達1Pa,含水分子和硬質腐蝕顆粒的半導體芯片,光學通訊設備及平板顯示器等高科技行業的苛刻工藝流程。在眾多的干式真空泵中,爪式真空泵備受半導體、光學器件等高科技行業的青睞。
           
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